《超净工作实习》

《超净工作实习》教学大纲

课程编号：B1763042C

课内周数：1周

适用专业：光电信息科学与工程（信息显示）

一、实习的性质、目的和任务

实习性质：根据专业培养目标和教学大纲的要求，学生完成基础课及专业基础课后，安排两周的综合性、设计性实习。超净工作实习是材料物理专业一个十分重要的实践性教学环节，使学生进一步的系统巩固所学到的理论知识，并做到理论知识与生产实践相结合。

实习目的：使学生了解超净室的设计、空气净化、超纯水的制备及使用规范，并熟悉超净工作环境，了解超净的工作要求及其注意事项。

实习任务：通过讲解超净实验室的基本内容，培养学生理论联系实际分析和解决生产实践问题的能力，提高学生对超净工作的认识，为毕业后的实际工作奠定良好的基础。

二、实习内容及要求

实验内容：

（1）讲解超净实验室的设计标准、空气净化过程、超纯水的制备过程、建造材料的选择及使用和维护的要求及注意事项；

（2）根据所讲的超净实验室的理论知识，理论联系实际的参观超净室，使学生进一步了解超净工作；

（3）测量超净室的洁净度，利用仪器划出规定的玻璃尺寸及了解整个蒸镀的过程。

实验要求：

实习期间一般不准事假，实习期间不得旷课、迟到或早退。要求学生独立撰写实习报告，实习报告可反映学生经过实习后，对超净工作认识及收获，是评定学生实习成绩的主要依据。

三、实习方式及时间安排

实习方式：采用授课、参观和实验相结合的方式，5人一个小组，共分6组，设组长一名，负责经常与指导教师取得联系，传达与贯彻老师的安排意见；评估各组实习工作，并进行考核工作。

实习时间安排：

实习过程分为五个阶段：

第一阶段让每组学生利用1天时间调研超净工作中一部分相关资料并做成PPT；

第二阶段每组学生派出一名代表，综合全组的内容给全班同学讲解自己所查的内容，指导教师根据学生所讲的内容再进行补充讲解，这个阶段需要约2天时间；

第三阶段期根据学生所查的内容参观超净实验室的超纯水制备、空气净化、中央空调的工作原理等，这个阶段需要2天时间；

第四阶段学生根据所查的设计超净实验室的表征及使用规范，参观超净实验室，并测量超净室的洁净度，利用仪器划出规定的玻璃尺寸及了解整个蒸镀的过程，这个过程需要1天时间；

第五阶段撰写实习报告，需要1天时间。

四、考核及实习报告要求

（一）考核

（1）考核出勤占成绩的30% ，实习过程中的表现（学习态度、出勤、组织纪律等）占成绩的30%，实习报告占40%。

（2）结合实习过程中的表现，综合评定该学生实习成绩，分别给予优秀、良好、及格、不及格五档成绩。不及格者，按学院有关规定处理。

（二）实习报告要求

实习结束后，学生应提交实习报告。要求学生独立撰写实习报告，实习报告内容包括题目、研究方法、结果与讨论以及参考文献等。报告要求文字简洁通畅，有条理性、概括性、系统性，还要讲究科学性。

实习报告包括超净实验室的设计标准，空气净化，建造材料，超纯水的制备及循环系统及使用规范等理论知识，结合理论知识书写参观过程和实验过程。

五、说明

本实习涉及以下教材：W.Whyte.《Cleanroom Design》UK：wiley ,1999       

执笔人：王义成             审核人：陈淑芬           实验院长：马延文